物理汽相淀积(PVD)
溅射铝，铝/硅，铝/铜合金，使IC和MEMS互连
黄金/钛钨溅射为双极/射频互连，为共晶做晶圆背金
镍铬耐热合金和其他陶瓷材料保持电阻高度稳定
在凸起的金属面、焊接点和晶圆背金，沉积的黄金，钛、镍、铂、铝、锡和其他纯金属与MEMS互连。
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